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陶氏化学公司属下一个业务集团——陶氏聚氨酯公司在它的得克萨斯分厂有一套装置采用了深度真空来除去其产品中的水蒸汽和惰性气体。过去15年中，该公司一直采用旋转叶片真空泵来达到所需的真空度。虽然旋转叶片泵与以前的泵相比其性能有很大的改进，但这种泵的可靠性仍然是一个问题。由于泵的正常磨损和液体侵入等问题，