【摘 要】
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半导体材料的纵光学声子与等离子体激元耦合模（LOPC模）能够提供材料电学方面的相关信息。本文在室温下测得了n型4H-和6H—SiC的拉曼光谱，分析了掺人的杂质对于SiC晶体拉曼光谱的
【机 构】
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南开大学物理科学学院,南开大学信息技术科学学院,中国电子科技集团公司第四十六研究所
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半导体材料的纵光学声子与等离子体激元耦合模（LOPC模）能够提供材料电学方面的相关信息。本文在室温下测得了n型4H-和6H—SiC的拉曼光谱，分析了掺人的杂质对于SiC晶体拉曼光谱的影响，通过拟合n型4H-和6H—SiC晶体的LOPC模的线型得到等离子体频率，并由此从理论上计算了载流子浓度。载流子浓度的理论计算值与霍尔测量的结果符合得很好。研究结果进一步证实了对于n型4H-和6H—SiC晶体，可以通过分析LOPC模的线形来较准确地给出相关材料的载流子浓度。
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