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硅片直接键合工艺中的热过程
硅片直接键合工艺中的热过程
来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chenweili73924
【摘 要】
:
本文介绍了一种利用硅片直接键合(SDB)技术制作Si/Si衬底的方法。从理论上研究了键合过程中的热过程,如键合界面区中氧的扩散和杂质的再分布。利用SDB方法制成了p-n~+二极管,
【作 者】
:
曹广军
秦祖新
余跃辉
彭昭廉
【机 构】
:
华中理工大学固体电子学系,华中理工大学固体电子学系湖北武汉430074,湖北武汉430074,湖北武汉430074
【出 处】
:
微电子学
【发表日期】
:
1993年6期
【关键词】
:
硅片直接键合
健合界面
击穿电压
Silicon direct bonding
Bonding interface
Breakdown voltage
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本文介绍了一种利用硅片直接键合(SDB)技术制作Si/Si衬底的方法。从理论上研究了键合过程中的热过程,如键合界面区中氧的扩散和杂质的再分布。利用SDB方法制成了p-n~+二极管,其击穿电压为500V,正向压降略小于0.7V,测得的少子寿命约为7.5μs。
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