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本文分析了原直流等离子体化学气相沉积设备在镀膜中存在的问题，提出了相应的改进措施和方法，通过一定量的工艺调试及分析检测，发现提高预真空度，降低残留气体压力，附加外热源，可以有效地提高TiN镀层的质量。
等离子体化学气相沉积设备改进及其效果
【摘 要】
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本文分析了原直流等离子体化学气相沉积设备在镀膜中存在的问题，提出了相应的改进措施和方法，通过一定量的工艺调试及分析检测，发现提高预真空度，降低残留气体压力，附加外热源，可以
【机 构】
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西安交通大学金属材料及强度研究所
【出 处】
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表面工程
【发表日期】
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1993年1期
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