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介绍了几种用电子显微镜直接测量薄膜厚度的方法，包括特征几何法、会聚焦束双束衍射法等，并对这些方法的应用范围、操作难易程度、测量精确度进行了比较和分析。
电子显微镜测量薄膜厚度的方法
【摘 要】
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介绍了几种用电子显微镜直接测量薄膜厚度的方法，包括特征几何法、会聚焦束双束衍射法等，并对这些方法的应用范围、操作难易程度、测量精确度进行了比较和分析。
【机 构】
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矿山饥械系
【出 处】
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山西矿业学院学报
【发表日期】
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1994年4期
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