【摘 要】
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基于波分式3D技术成像原理,实现了一种宽角度互补三带通滤光膜的设计.通过对薄膜材料的研究,选择合适的材料作为法布里-珀罗滤光片的等效间隔层,改善了大角度入射时的能量分
【机 构】
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长春理工大学光电工程学院,吉林长春130022;光驰科技(上海)有限公司,上海200444
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基于波分式3D技术成像原理,实现了一种宽角度互补三带通滤光膜的设计.通过对薄膜材料的研究,选择合适的材料作为法布里-珀罗滤光片的等效间隔层,改善了大角度入射时的能量分散现象,提高了大角度入射时的通带透过率.通过调节电感耦合等离子体反应气体量,降低了Nb2O5材料的消光系数,提高了薄膜在短波处的透过率.实验测试与分析结果表明,所研制的互补三带通滤光膜在0°～30°入射时的通带透过率均在92％以上,且透射光符合色平衡指标,满足设计要求.
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