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介绍一种基于数字ＰＩＤ方法，研制出微机控制系统，实现了压电陶瓷微位移器动态性能的改善，并将其用于精密微动平台，实现平台精密快速进给。
压电陶瓷微位移器的动态特性的改善
【摘 要】
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介绍一种基于数字ＰＩＤ方法，研制出微机控制系统，实现了压电陶瓷微位移器动态性能的改善，并将其用于精密微动平台，实现平台精密快速进给。
【出 处】
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自动化仪表
【发表日期】
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2000年04期
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