磁控共溅射制备氮化钛铝薄膜及其机械性能的研究

来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tianshanfeiren

【摘要】

：

使用磁控共聚焦溅射技术并改变溅射过程中Al的功率来制备了一系列A1含量不同的氮化钛铝(TiAlN)薄膜.在溅射过程,薄膜沉积速率和Al含量随Al的溅射功率增加而增大,而薄膜的粗糙

【作者】

：

倪晟孙卓赵强

【机构】

：

华东师范大学

【出处】

：

功能材料

【发表日期】

：

2005年12期

【关键词】

：

TIALN薄膜磁控共溅射纳米压痕仪机械性能 titanium aluminum nitride reactive magnetron co-sputte

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

使用磁控共聚焦溅射技术并改变溅射过程中Al的功率来制备了一系列A1含量不同的氮化钛铝(TiAlN)薄膜.在溅射过程,薄膜沉积速率和Al含量随Al的溅射功率增加而增大,而薄膜的粗糙度减小.Al含量较低时(约21%),TiAlN薄膜的硬度和弹性模量都高于TiN薄膜.而Al含量较高时(＞26%),薄膜的硬度和弹性模量也随含量增加减小.

其他文献

全面推进国有中小企业的战略性调整

期刊

国有中小企业调整经济结构管理结构民营化

高等学校“驻校教授”制度评述

"驻校教授"制度是近年来产生于高校的一种聘请专家学者讲学的制度,它源于传统的教授讲学制度,是这一制度在新的历史条件下的新形态、新发展.较好地实施这一制度,充分发挥"驻

期刊

高等学校管理制度“驻校教授”评述

河南省临床护理师资培训与护理教育学术会议纪要

2006年11月15-17日，在郑州市隆重召开了河南省护理教育委员会恢复成立暨“河南省临床护理师资培训与护理教育学术会议”。省卫生厅科教处李克勤处长到会并分析了当前形势，提出

期刊

护理教育委员会临床护理带教学术会议纪要师资培训河南省省卫生厅临床教学护理教学

对护理本科生实行分方向培养的探讨

为培养与社会需求相接轨的实用型护理专门人才，提高护理专科技术水平，提出在通才教育的基础上对护理本科生实行分方向培养，使学生在某个特定的专科领域形成独特的优势技能，推进护

期刊

学生护理本科模型教育StudentsNursingUndergraduate Models Educational

集思广益,畅谈发展——全国护理学研究生教育研讨会在北京召开

为庆祝协和护理教育创建90周年,回顾和总结我国护理研究生教育的发展历程,探讨护理学研究生教育今后的发展,由北京协和医学院护理学院主办的＂协和护理教育创建90周年暨全国护

期刊

北京协和医学院护理学研究生教育研讨会研究生教育护理教育护理学院

金属颗粒膜巨磁电阻效应的机制和影响因素

由于巨磁电阻效应在磁记录设备和传感器的潜在应用,具有该效应的材料得到了广泛地研究.特别是继金属多层膜之后的金属磁性颗粒膜,由于其制备简单,巨磁电阻效应的机理较为复杂

期刊

金属颗粒膜巨磁电阻效应自旋相关散射磁记录设备传感器metallic granular film GMR spin-dependence scatt

我国电子政务的误区解析之我见

当今世界,信息的重要性不言而喻,无论是欧美还是亚太,都把加强政府信息化、开展电子政务作为政府工作的重点.推进政府部门办公自动化、网络化、电子化、信息全面共享,已是大

期刊

电子政务政府采购信息共享

基于季戊四醇的三代硅碳烷液晶树状物的合成与表征

合成了外围含4-丁氧基偶氮苯介晶基元的三代硅碳烷液晶树状物PCSi-3G-CA。以4-[4-（6-羟基己氧基）苯基]丁氧基偶氮苯介晶基团对端基官能团为Si—Cl的三代硅碳烷树状物PCSi-3G-Cl

期刊

季戊四醇硅碳烷液晶树状物介晶基元丁氧基偶氮苯向列相pentaerythritol carbosllane liquid crystalline de

30年风雨兼程 30年硕果累累

在2010年＂5·12＂国际护士节即将到来之际,南京医科大学护理学院隆重举行护理学专业建立30周年庆典暨论坛。庆祝活动包括庆祝大会、史料展览、文艺演出、学术论坛等。南京医

期刊

南京医科大学高等护理教育高级护理国际护士节护理学专业卫生部批准护理学院进修班

中国发展直复营销尚待解决的问题

直复营销是指不经过传统的流通环节，而利用现代信息技术和传播媒体开展一系列直接销售的无店铺营销方式，其要在中国成功地发展尚有一定的障碍，须做到几下几点：

期刊

直复营销中国直接销售流通环节营销方式店铺障碍传播媒体现代信息技术传统

磁控共溅射制备氮化钛铝薄膜及其机械性能的研究

与本文相关的学术论文