【摘 要】
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采用磁控反应共溅射的方法,以金属Ce和Sn为金属源,成功地制备出Ce Ox-Sn Ox薄膜。利用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD）、透射电子显微镜（TEM）和X射线光电子能谱（XPS）等测试手段
【机 构】
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海南大学南海海洋资源利用国家重点实验室,海南省特种玻璃国家重点实验室
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采用磁控反应共溅射的方法,以金属Ce和Sn为金属源,成功地制备出Ce Ox-Sn Ox薄膜。利用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD）、透射电子显微镜（TEM）和X射线光电子能谱（XPS）等测试手段对薄膜的结构、表面形貌及成分进行了分析和表征。结果表明薄膜以岛状模式生长,随氩氧比降低,结晶性增强,出现Ce O2和Sn O相。此外,利用紫外-可见分光光度计对薄膜的光学性能进行了研究,测试结果表明薄膜对紫外光有极强的吸收作用。当氩氧流量比为3∶1时,紫外光平均透过率仅为5.80%,而可见光平均透过率为
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