KTa1—xNbxO3三组分复合热释电薄膜的制备与性能研究

来源 :硅酸盐学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Lv619

【摘要】

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利用多组分复合宽化铁电相变温区, 使薄膜以高的热释电系数出现在较宽的温度范围.在BaTiO3/Pt/Ti/SiO2/Si衬底上用溶胶-凝胶法制备了0.5 μm KTa1-x Nb xO3(x=0.45, 0.50, 0.

【作者】

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吴会光王世敏傅晶张刚升

【机构】

：

湖北大学化学与材料科学学院

【出处】

：

硅酸盐学报

【发表日期】

：

2002年4期

【关键词】

：

KTa1-xNbxO3 三组分复合热释电薄膜制备性能钽铌酸钾热释电性能 potassium tantalate niobate multicompo

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利用多组分复合宽化铁电相变温区, 使薄膜以高的热释电系数出现在较宽的温度范围.在BaTiO3/Pt/Ti/SiO2/Si衬底上用溶胶-凝胶法制备了0.5 μm KTa1-x Nb xO3(x=0.45, 0.50, 0.55)三组分等厚度的复合薄膜.0.5 μmKTN-0.08 μmB T薄膜在28～72 ℃温度范围内, 1.0 kHz时, 其εr=1100, tanδ=1.2% .在室温及120 kV/cm下极化30 min后, 0.5 μm复合薄膜在28～72 ℃温度范围内热释电系数出现峰值, 平均热

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