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通过研究激光散射法测量表面粗糙度、三角法测量微位移、干涉法测量表面微观轮廓三种几何量测量技术的共性，设计新型光路，将三咱光电测量技术集成为一个测量仪，使其成为采用同一光源、基本同一光路、同一光敏接收器的新型光电精密测量仪器，而同时具有三种测量功能。
表面粗糙度、表面微观轮廓及微位移激光测量集成化方法的研究
【摘 要】
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通过研究激光散射法测量表面粗糙度、三角法测量微位移、干涉法测量表面微观轮廓三种几何量测量技术的共性，设计新型光路，将三咱光电测量技术集成为一个测量仪，使其成为采用同一
【机 构】
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四川大学激光应用研究所
【出 处】
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四川大学学报(工程科学版)
【发表日期】
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2000年6期
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