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以聚碳硅烷（PCS）为原料，通过炉内成球技术制备SiC空心陶瓷微球，讨论辐照交联和高温碳化对SiC陶瓷微球化学成分、成键结构和表面特性的影响。结果表明，PCS在热处理过程中的失重率约为35％，其分解温度在400~800℃之间。微球经电子束辐照后会生成以Si-C-Si和Si-O-Si骨架结构为主的三维网络交联结构。碳化过程使Si—CH3键，Si—H键和C—H键断裂，生成以Si—C为主的无定形态SiC。辐照的均化作用使高温热处理碳化的微球能够维持完好的球壳结构，且具有更好的表面粗糙度和平整性。