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LPE 3061作为硅外延材料领域的主流设备,得到了世界范围内的广泛使用。本文从LPE 3061实际生产经验出发,以减少实际生产中产品缺陷、碎片为目的,根据机械手装、取片问题产生的过程、现象,对原因进行不断分析,得出结论后进行相对应的解决方案,取得了较好的结果,证明了调节方法的正确性。
LPE 3061机械手调节方法研究
【摘 要】
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LPE 3061作为硅外延材料领域的主流设备,得到了世界范围内的广泛使用。本文从LPE 3061实际生产经验出发,以减少实际生产中产品缺陷、碎片为目的,根据机械手装、取片问题产生
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十六研究所
【出 处】
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甘肃科技
【发表日期】
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2015年24期
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