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本文描述了一种直接计数式激光外差测振装置。此装置利用计数方法实现了以高精度对物体振幅和振频的同时测量。整个测置由微处理机进行测量控制、数据实时处理。此装置测量振幅的相对精度达1%（Av〉1μm），测量振频的相对精度优于0．5％。
直接计数式激光外羞测振装置
【摘 要】
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本文描述了一种直接计数式激光外差测振装置。此装置利用计数方法实现了以高精度对物体振幅和振频的同时测量。整个测置由微处理机进行测量控制、数据实时处理。此装置测量振
【机 构】
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上海激光技术研究所,现在中国计量科学研究院
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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1988年3期
【基金项目】
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对张自栋、罗泽荪在电路制作中给以的帮助表示感谢.
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