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在浅体声波（SSBW）器件上采用真空热蒸发法制备MgF2波导层，研究了器件的频率、插损、质量灵敏度随波导层厚度变化的特性。当波导层厚度约为2.48μm时，器件的插损最小（-23.93dB）；当波导层厚度约为6.5μm时，器件获得了最大质量灵敏度416.7cm^2·g^-1。并分析了不同沉积速率对薄膜质量的影响。实验结果表明：要制备高质量的薄膜必须采用低的薄膜沉积速率，MgF2薄膜可作为乐甫波器件的波导层材料。