气膜结构对长光栅刻制气浮平台气膜特性的影响

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为满足长光栅刻制气浮平台的设计要求, 通过建立气浮导轨上气膜面的有限元模型, 以承载能力、耗气量及流场“死区” 速度作为性能指标, 分析不同的节流器和均压槽形式对气浮导轨气膜特性的影响.结果表明: 不同的导轨结构会造成压力场特性发生变化, 进而影响气膜承载力、死区速度及耗气量; 3×3 节流器王字型均压槽的结构形式能有效提高承载能力, 消除速度死区, 且耗气量未明显增加, 该结构能满足长光栅刻制对气浮平台长时间工作的要求.
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