【摘 要】
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研制了石英膜片的非本征法布里—珀罗（F-P）腔光纤传感器,用于强磁场和高电压环境的超声波检测,并对超声波信号进行测量。通过ANSYS对不同材料的膜片进行有限元仿真分析,得出各
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51667011,51567013)
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研制了石英膜片的非本征法布里—珀罗（F-P）腔光纤传感器,用于强磁场和高电压环境的超声波检测,并对超声波信号进行测量。通过ANSYS对不同材料的膜片进行有限元仿真分析,得出各自的灵敏度、响应频率与膜片半径之间的关系,并选择性能适合的膜片材料研制了光纤传感器。通过设计解调系统,使用石英材料膜片的传感器测试超声波信号的频率,并对测得的信号与压电传感器测得信号进行对比分析。仿真结果表明：在相同半径和厚度的不同材料膜片下,石英玻璃材料的固有频率和灵敏度相对适中。实验测得压电传感器超声波频率为33 k Hz,F-P
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