【摘 要】
：
Veeco NT3300表面轮廓仪是基于白光干涉原理的一种非接触测量设备,它的垂直扫描干涉模式可以实现对物体表面形貌的非接触测量.在利用垂直扫描干涉模式对光刻胶形成的透明台阶
【机 构】
：
中国空空导弹研究院,红外探测器技术航空科技重点实验室
论文部分内容阅读
Veeco NT3300表面轮廓仪是基于白光干涉原理的一种非接触测量设备,它的垂直扫描干涉模式可以实现对物体表面形貌的非接触测量.在利用垂直扫描干涉模式对光刻胶形成的透明台阶测量时,设置不同的测量参数会导致较大的测量误差,通过对垂直扫描干涉模式的原理和测量系统的分析,找到了误差产生的原因,并通过合理的测量参数的设置,实现了对透明台阶的准确测量,满足了应用需求.
其他文献
目的探讨掌侧入路与背侧入路治疗桡骨远端AO-C型骨折的疗效。方法选择80例桡骨远端AO-C型骨折患者采用随机数字表法分为掌侧入路组和背侧入路组各40例。比较两组临床疗效、X
红富士苹果分别于5月下旬和6月上中旬采用两次套袋方法,可促进果实增大增重,病虫害减少,果面光滑鲜艳,无农药污染,生产出无公害果品.
急性心肌梗死的干细胞治疗是近年来国内外研究的重点。骨髓间充质干细胞移植对急性心梗患者的左心室收缩功改善和心肌修复起到明显的促进作用，研究显示干细胞移植安全有效，目前
五脏阴阳辨证渊源于《黄帝内经》,是一种集唯物论和辩证法思想于一体的医学思辨模式,在中医学理论体系中占有十分重要的地位。自《内经》以后,后世医家根据各自的临床实践,分
目的：观察芪蛭合剂对大鼠实验性动脉粥样硬化主动脉壁MMP-9表达的影响。方法：利用高脂饮食合VD3灌胃成功建立大鼠动脉粥样硬化模型。大鼠随机分为模型组、芪蛭合剂组、辛伐他汀