【摘 要】
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由离子和电子为主构成的物质状态,称为等离子体。高温等离子体指的是电子与离子的温度都在百万摄氏度以上,并且气体中所有的原子几乎都被电离。所以,把高温等离子体又称为完
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由离子和电子为主构成的物质状态,称为等离子体。高温等离子体指的是电子与离子的温度都在百万摄氏度以上,并且气体中所有的原子几乎都被电离。所以,把高温等离子体又称为完全电离等离子体。如果产生等离子体的气体元素是较重的元素像氩、氧、氮和乙炔等。这时较重元素的离子温度较低,一般在十万摄氏度以下,并且是非完全电离的。我们把这团由电子、离子和中性原子,甚至中性分子、自由基混合而成的等离子体称为低温等离子体。应用等离子体刻蚀技术在硅片上能刻出非常狭的沟漕,从而制造出大规模集成电路。
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