碳化硅涂层在单晶硅用炭/炭热场材料中的应用及研究进展

来源 :炭素技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wuyongliang0907
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碳化硅涂层是目前解决单晶硅生产用炭/炭热场材料高温侵蚀的有效手段之一,本文介绍了碳化硅涂层的制备技术及优缺点,综述了碳化硅涂层在炭/炭热场材料领域的应用及研究进展,对炭/炭热场材料高温抗侵蚀涂层的发展提出了建议和方向.
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