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精密光刻系统主要应用于烟、酒等产品商标的防伪。介绍了直线电动机的结构与原理，以及精密光刻系统的组成与原理。系统采用双闭环控制方式，并用高精度光栅作为反馈环节的位置测量元件，不仅提高了光刻速度，也改善了光刻精度，应用效果良好。
直线电动机在精密光刻系统中的应用
【摘 要】
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精密光刻系统主要应用于烟、酒等产品商标的防伪。介绍了直线电动机的结构与原理，以及精密光刻系统的组成与原理。系统采用双闭环控制方式，并用高精度光栅作为反馈环节的位置测
【机 构】
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苏州大学机电工程学院
【出 处】
：
微电机
【发表日期】
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2007年11期
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