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期刊论文
基于TOC理论的OEE的应用
基于TOC理论的OEE的应用
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ziyutianxia
【摘 要】
:
在介绍OEE与TOC理论的基础上,将两者的优缺点互补,引入IEE概念进行瓶颈诊断,开展了TPM活动以提高系统整体效率,同时提出一宏观与微观相结合的企业数据收集与处理模型。结合目
【作 者】
:
朱虹
钱省三
【机 构】
:
上海理工大学工业工程研究所微电子发展研究中心
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2005年08期
【关键词】
:
设备综合效率
约束理论
设备固有效率
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在介绍OEE与TOC理论的基础上,将两者的优缺点互补,引入IEE概念进行瓶颈诊断,开展了TPM活动以提高系统整体效率,同时提出一宏观与微观相结合的企业数据收集与处理模型。结合目前国内半导体厂实时性差的特点,介绍了一晶圆制造过程实时系统工作流程。
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