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本文报导应用等色干涉原理测定单层镀膜层光学厚度的方法及测量结果分析。此方法无需破坏待测薄膜,测量简便、准确。
应用等色干涉测定薄膜厚度
【摘 要】
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本文报导应用等色干涉原理测定单层镀膜层光学厚度的方法及测量结果分析。此方法无需破坏待测薄膜,测量简便、准确。
【机 构】
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武汉大学物理系,武汉大学物理系
【出 处】
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物理实验
【发表日期】
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1990年4期
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