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使用高功率激光器时，光学表面上出现缺陷常常是个麻烦，这是因为它增加能量损耗从而使器件的运转变得较差的缘故。这里考虑的是指高强度辐射对表面沾污，如尘粒或洗涤剂的余迹的作用。已研究用于100兆瓦Q开关红宝石激光器和掺铒玻璃脉冲激光器中的激光棒和青玉共振反射器的变坏。在显微镜下观察到的红宝石，青玉和玻璃光学表面上最重要的欠缺一般可分为两类：(1)斑点和小的圆形缺痕；(2)小的锥形坑。