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微加速度计的制造误差对灵敏度、量程、线性度等指标均有重要影响，文中基于电测法和微加速度计的闭环灵敏度，提出了一种简便且准确的评估制造误差的方法。文中首先基于有限元法提取了梳齿电容与质量块位移之间的函数关系。其次，基于电容－位移函数以及闭环微加速度计必须满足的平衡条件，推导出了灵敏度的计算公式。最后，基于灵敏度公式与实测灵敏度值，反推得到微加速度计的制造误差。文中以两种不同几何尺寸的微加速度计为例，通过实验验证了文中所提出方法的正确性。