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阐述了 PSD 的主要特性及其进展,文中的商业产品参数,来自于1997年日本滨松光子学公司的一维和二维 PSD 的技术数据。PSD 的研制品中介绍了非晶硅薄膜 PSD 结构和主要光学、电学特性;介绍了多条形 PSD 结构及位置分辨率等性能指标;最后还叙述了大面积二维 PSD 及 MOS 型一维 PSD 等的性能和参数。