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硬脆材料和电难以加工材料如玻璃、陶瓷、人造宝石、半导体基板的微型孔、槽及微结构,通常采用超声波通过工具振动和工作液中磨粒的作用达到微加工的目的.为了保证加工精度和提高加工效率,工具和工件之间应保持一定的间隙.控制间隙的大小和精度直接影响加工质量.本文提出超声波谐振来测量工具与工件之间的间隙,实现加工过程的在线控制技术.