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在-55～125℃范围内误差小于 0.3℃硅基温度传感器

来源 :半导体学报 | 被引量 : 3次 | 上传用户：hgjsy

【摘 要】

：

提出了基于寄生参数自校正的高精度温度传感器,并给出了基于CSMC0.5μm混合信号CMOS工艺的仿真结果.利用CMOS工艺衬底pnp三极管的发射区-基区pn结作为温度传感单元,提出了易于开关-电容电路实现的寄生电阻校正方法,消除了基区电阻非线性对温度测量的影响,提高了测量精度.电路仿真结果显示,系统测温误差在-55℃~125℃范围内仅为±0.3℃.

【作 者】

：

冯晓星 王新安 封君 葛彬杰 张兴 

【机 构】

：

北京大学深圳研究生院集成微系统重点实验室,北京大学深圳研究生院集成微系统重点实验室,北京大学深圳研究生院集成微系统重点实验室,北京大学深圳研究生院集成微系统重点实验室,北京大学深圳研究生院集成微系统重

【出 处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2007年12期

【关键词】

：

温度传感器 误差自校准 基区电阻消除 CMOS衬底三极管 

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提出了基于寄生参数自校正的高精度温度传感器,并给出了基于CSMC0.5μm混合信号CMOS工艺的仿真结果.利用CMOS工艺衬底pnp三极管的发射区-基区pn结作为温度传感单元,提出了易于开关-电容电路实现的寄生电阻校正方法,消除了基区电阻非线性对温度测量的影响,提高了测量精度.电路仿真结果显示,系统测温误差在-55℃~125℃范围内仅为±0.3℃.

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