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采用室温磁控溅射技术在镁合金(AZ91D)表面制备出DLC/SiC(类金刚石/碳化硅)双层薄膜(SiC为中间层),研究了薄膜的纳米压痕行为、膜基黏附力和膜基系统的摩擦磨损性能。结果表明:DLC薄膜具有低的纳米硬度(3.05GPa)、低的弹性模量(24.67GPa)和高的硬弹比(0.122);膜基系统具有高的界面黏附力和好的摩擦磨损性能;在以氮化硅球为对摩件的室温干摩擦条件下其磨损速率在10^-6mm^3·m^-1·N^-1级,摩擦系数约为0.175。分析表明:膜基系统具有的良好抗磨性能