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纳米技术作为当前发展最迅速、涉及范围最广的科学技术之一，被誉为21世纪的科技新星，对工业技术革新、产业升级具有十分重要的意义。随着技术的飞速发展，纳米技术涉及的范围也越来越广。目前，纳米科学与技术这一学科可大致划分为6部分：纳米物理学、纳米化学、纳米生物学、纳米电子学、纳米机械学和纳米测量学。
基于光纤微机电系统的纳米级测量技术
【摘 要】
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纳米技术作为当前发展最迅速、涉及范围最广的科学技术之一，被誉为21世纪的科技新星，对工业技术革新、产业升级具有十分重要的意义。随着技术的飞速发展，纳米技术涉及的范围也越
【机 构】
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中国科学院半导体研究所光电系统实验室
【出 处】
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新材料产业
【发表日期】
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2012年4期
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