KLA-Tencor发布VoyagerTM 1015和Surfscan SP7缺陷检测系统

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【摘要】

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<正>《电子工业专用设备》讯:KLA-Tencor公司(纳斯达克股票代码:KLAC)日前宣布推出两款全新缺陷检测产品,在硅晶圆和芯片制造领域中针对先进技术节点的逻辑和内存元件,为设备

【作者】

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Janey

【出处】

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电子工业专用设备

【发表日期】

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2018年05期

【关键词】

：

缺陷检测 SP7 Surfscan Voyager KLA-Tencor

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<正>《电子工业专用设备》讯:KLA-Tencor公司(纳斯达克股票代码:KLAC)日前宣布推出两款全新缺陷检测产品,在硅晶圆和芯片制造领域中针对先进技术节点的逻辑和内存元件,为设备和工艺监控解决两项关键挑战。VoyagerTM1015系统提供了检测图案化晶圆的新功能,包括在光刻胶显影后并且晶圆尚可重新加工的情况下,立即在光刻系统中进行检查。Surfscan誖SP7系统为裸片晶圆、平滑和粗糙的薄膜提供了前所未有的缺

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