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介绍了一种新型拉晶炉,采用直拉法拉制大直径硅棒,然后切割成方硅芯。该种拉晶炉一次性出硅芯数量多,弯曲度可控,表面附着力强,可大幅提高硅芯的生产效率。
新型拉晶炉在硅芯制备中的应用
【摘 要】
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介绍了一种新型拉晶炉,采用直拉法拉制大直径硅棒,然后切割成方硅芯。该种拉晶炉一次性出硅芯数量多,弯曲度可控,表面附着力强,可大幅提高硅芯的生产效率。
【机 构】
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北京北方华创真空技术有限公司
【出 处】
：
太阳能
【发表日期】
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2019年3期
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