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介绍了一种用于强流氧离子注入机的装卸片控制系统，控制系统采用多轴运动控制器实现了多个电机的协同运动，解决了晶圆在传送过程中的中心偏差校正和角度校正的问题，并最终实现了晶圆的全自动传送。
强流氧离子注入机装卸片控制系统
【摘 要】
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介绍了一种用于强流氧离子注入机的装卸片控制系统，控制系统采用多轴运动控制器实现了多个电机的协同运动，解决了晶圆在传送过程中的中心偏差校正和角度校正的问题，并最终实现了
【机 构】
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中国电子科技集团公司电子第四十八研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2009年9期
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