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本文应用XPS技术对三组不同温度热氧化处理钛种植体的表面进行了分析,三种表面分别为:自然氧化组(即商业纯钛),人工氧化组(400℃,45分钟)和高温氧化组(700℃,45分钟)。发现三组钛试样表面的主要化学元素和组成均相同,并且随着氧化温度的提高表面氧的相对含量提高,而碳的相对含量变化不大。通过对表面钛、氧、碳三种元素的详细分析可确定它们的化学状态,获得TiO2、TiO、O^-2和O2在不同深度的分布状态并得出了规律。还用XPS测得了在不同温度和时间下氧化后钛表面氧化膜的厚度。从总体分析情况椎荐人工氧化表