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期刊论文
GaAs/InP低温晶片键合的研究
GaAs/InP低温晶片键合的研究
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huanglien
【摘 要】
:
将硫脲溶液用于GaAs/InP基材料低温晶片键合的表面处理工艺,实现了GaAs/InP基材料间简单、无毒性的低温(380 ℃)晶片键合.并通过界面形貌,解理后断裂面,键合强度及键合界面I-
【作 者】
:
王兴妍
黄辉
王琦
任晓敏
黄永清
【机 构】
:
北京邮电大学
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
2005年6期
【关键词】
:
键合
GAAS/INP
I-V曲线
光致发光谱
bonding
GaAs/InP
I-V curve
PL spectra
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将硫脲溶液用于GaAs/InP基材料低温晶片键合的表面处理工艺,实现了GaAs/InP基材料间简单、无毒性的低温(380 ℃)晶片键合.并通过界面形貌,解理后断裂面,键合强度及键合界面I-V特性对键合晶片进行了分析.
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