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DLTS和CV测试相结合可以对半导体的表面、界面性能及深能级杂质进行定量研究.本文主要介绍DLTS测试方法及微机化DLTS-CV组合测试系统的软、硬件设计.
微机化DLTS—CV组合半导体测试系统
【摘 要】
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DLTS和CV测试相结合可以对半导体的表面、界面性能及深能级杂质进行定量研究.本文主要介绍DLTS测试方法及微机化DLTS-CV组合测试系统的软、硬件设计.
【机 构】
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西安交通大学电子工程系
【出 处】
：
微电子学与计算机
【发表日期】
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1989年02期
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