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LP—MOCVD生长InGaAlP外延层中In并入效率的研究
LP—MOCVD生长InGaAlP外延层中In并入效率的研究
来源 :华南理工大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:applechenli
【摘 要】
:
分析了In原子在InGaAlP外延生长表面的扩散、并入及脱附过程,给出了In并入外延层的效率表达式.依据该表达式,解释了生长速率、生长温度及生长压力等生长参数对LP-MOCVD生长In
【作 者】
:
文尚胜
范广涵
廖常俊
刘颂豪
【机 构】
:
华南理工大学应用物理系,华南师范大学MOCVD实验室
【出 处】
:
华南理工大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2001年8期
【关键词】
:
低压金属有机化合物气相外延
并入效率
In组分
LP-MOCVD
INGAALP
LP_MOCVD incorporation efficiency In co
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分析了In原子在InGaAlP外延生长表面的扩散、并入及脱附过程,给出了In并入外延层的效率表达式.依据该表达式,解释了生长速率、生长温度及生长压力等生长参数对LP-MOCVD生长InGaAlP外延层中In组分的影响.
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