溶胶-凝胶法制备BaTiO3薄膜

来源 :山西师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：kabasiji2

【摘要】

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利用溶胶-凝胶法(Sol-Gel)制备BaTiO3薄膜,介绍了Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底及BaTiO3薄膜的制备工艺过程,对薄膜的表面形貌进行了观察分析,同时对其介电与频率关系进行了测试.结

【作者】

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梁鸿东梁海燕周方桥

【机构】

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广州大学物理与电子工程学院物理系

【出处】

：

山西师范大学学报(自然科学版)

【发表日期】

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2006年2期

【关键词】

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SOL-GEL BaTiO3薄膜电学性能 Sol-Gel processing BaTiO_3 thin films Electrics properties

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利用溶胶-凝胶法(Sol-Gel)制备BaTiO3薄膜,介绍了Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底及BaTiO3薄膜的制备工艺过程,对薄膜的表面形貌进行了观察分析,同时对其介电与频率关系进行了测试.结论显示,经900℃、120min退火处理的BaTiO3薄膜的结晶性能优良,并具有一定的电学性能.

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