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介绍了测量硬度的几种方法,分析了纳米压痕硬度测量的基本原理.用美国原位纳米力学测试系统中的TriboIndenter对单晶硅进行了试验研究.试验结果表明,由于尺寸效应纳米硬度值随着载荷的增大而逐渐减小,纳米级的压痕试验得到的单晶硅的硬度值要高于其他传统方法测得的宏观硬度值.
单晶硅的纳米硬度测试分析
【摘 要】
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介绍了测量硬度的几种方法,分析了纳米压痕硬度测量的基本原理.用美国原位纳米力学测试系统中的TriboIndenter对单晶硅进行了试验研究.试验结果表明,由于尺寸效应纳米硬度值
【机 构】
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佳木斯大学,佳木斯大学
【出 处】
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金属热处理
【发表日期】
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2005年8期
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