【摘 要】
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采用化学气相沉积法,使用硫粉和三氧化钼,在蓝宝石基底上制备出品相良好的MoS2薄膜,采用光学显微镜、Raman以及原子力显微镜对其进行表征。再利用磁控溅射制作气敏元件,对其气敏性能进行检测。实验结果表明MoS2薄膜对O3的选择性较好,在气体浓度范围为0~100 ppm时,MoS2薄膜对O3的灵敏度随气体浓度增加而增大,在气体浓度到达一定值后存在饱和。MoS2对O3浓度为10
【基金项目】
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湖北省大学生创新创业训练计划项目,编号:S201910490026,湖北省教育厅重点项目,编号:D20191503,武汉工程大学科学研究基金,K201801,武汉工程大学研究生创新基金,编号:cx2020160。
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采用化学气相沉积法,使用硫粉和三氧化钼,在蓝宝石基底上制备出品相良好的MoS2薄膜,采用光学显微镜、Raman以及原子力显微镜对其进行表征。再利用磁控溅射制作气敏元件,对其气敏性能进行检测。实验结果表明MoS2薄膜对O3的选择性较好,在气体浓度范围为0~100 ppm时,MoS2薄膜对O3的灵敏度随气体浓度增加而增大,在气体浓度到达一定值后存在饱和。MoS2对O3浓度为10
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