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研究了化学气相淀积Si3N4钝化、Si3N4-SiO2复合钝化对光电二极管抗辐射性能的影响,比较了电子辐照和质子辐照两种类型辐照对器件性能的影响,认为不管是质子辐照还是电子辐照,Si3N4钝化对于可见光部分（400~800nm）影响不大,Si3N4钝化工艺可以应用于光伏产业.
Si_3N_4钝化光电二极管的辐照实验研究
【摘 要】
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研究了化学气相淀积Si3N4钝化、Si3N4-SiO2复合钝化对光电二极管抗辐射性能的影响,比较了电子辐照和质子辐照两种类型辐照对器件性能的影响,认为不管是质子辐照还是电子辐照,
【机 构】
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嘉兴学院机电工程学院
【出 处】
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嘉兴学院学报
【发表日期】
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2015年6期
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