化学机械抛光—氧化铈抛光粉的研制

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本文用烧结的方法,利用碳酸铈在高温下的分解以制备颗粒大小一定的氧化铈,并以氧化铈,去离子水和分散剂混合制备抛光浆,并检测了在不同条件下制备的抛光粉的抛光能力。本实验确定了抛光粉及抛光浆的制备条件和工艺。讨论了煅烧温度对抛光粉粒度和粒度分布影响,不同抛光粉的抛光能力的影响因素,抛光浆的制备及其对抛光能力的影响,以及分散剂和添加剂对抛光浆性能的影响。
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