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期刊论文
金属硅化物的应用与发展
金属硅化物的应用与发展
来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kr1983
【摘 要】
:
回顾了金属硅化物在电热元件、高温抗氧化涂层以及集成电路电极薄膜等功能元器件方面的应用、存在的问题和改进的措施,并介绍了高温结构材料的应用研究现状和发展趋势。
【作 者】
:
马勤
康沫狂
【机 构】
:
甘肃工业大学,西北工业大学
【出 处】
:
稀有金属材料与工程
【发表日期】
:
1999年1期
【关键词】
:
金属硅化物
合金化
复合材料
功能硅合物
metal silicide
alloying
composite
application
developme
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回顾了金属硅化物在电热元件、高温抗氧化涂层以及集成电路电极薄膜等功能元器件方面的应用、存在的问题和改进的措施,并介绍了高温结构材料的应用研究现状和发展趋势。
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