【摘 要】
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本文阐述了利用石英晶体的振荡频率与晶体厚度间的关系 ,采用差动测量技术 ,实现薄膜厚度在线测量的原理、方法及系统组成。该法具有精度高、温度稳定性好的特点
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【机 构】
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本文阐述了利用石英晶体的振荡频率与晶体厚度间的关系 ,采用差动测量技术 ,实现薄膜厚度在线测量的原理、方法及系统组成。该法具有精度高、温度稳定性好的特点
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