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为了制备高定向光电性能优异的掺铝氧化锌（ZAO）纳米棒阵列，采用溶胶一凝胶法在玻璃基片上制备掺铝氧化锌薄膜，以ZAO薄膜为种子层，通过控制掺铝量、稳定剂等工艺参数，采用水热法制备出了高定向ZAO纳米棒阵列，实验表明，铝掺杂量为2％，直径在50nm左右的ZAO纳米棒阵列薄膜具有最好的光致发光性能，表面活性剂可以促进ZAO纳米结构的棒状生长，形成高定向ZAO纳米棒阵列。