中频直流磁控反应溅射法制备掺铝氧化锌薄膜的研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jianbin0703

【摘要】

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利用中频直流磁控反应溅射法（MF-DC-MS）在玻璃衬底上制备了掺铝氧化锌（AZO）透明导电薄膜。利用x射线衍射（XRD）、四探针法和分光光度计深入研究了衬底温度对AZO薄膜的结构、电学和光

【作者】

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林清耿郜小勇刘玉芬卢景霄

【机构】

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郑州大学材料物理教育部重点实验室,郑州大学物理工程学院

【出处】

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真空科学与技术学报

【发表日期】

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2008年6期

【关键词】

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中频直流反应磁控溅射掺铝氧化锌薄膜 C轴择优取向吸收边 Middle-frequency direct current magnetron sputteri

【基金项目】

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国家自然科学基金（No.60807001）,国家重点基础研究发展计划（No.2006CBY202601）

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利用中频直流磁控反应溅射法（MF-DC-MS）在玻璃衬底上制备了掺铝氧化锌（AZO）透明导电薄膜。利用x射线衍射（XRD）、四探针法和分光光度计深入研究了衬底温度对AZO薄膜的结构、电学和光学特性的影响。研究结果表明3h的沉积使AZO薄膜丧失了（002）c轴择优取向。随着衬底温度由210℃升高到270℃，AZO薄膜的电阻率从7.5×10^-3Ω·cm降低到2.5×100^-3Ω·cm。高于270℃后，电阻率又略有升高。电阻率的变化趋势可从薄膜微观结构的角度得到合理解

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