氧化钒薄膜作为锂离子微电池阴极膜的磁控溅射技术的制备

来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：helen_shen

【摘要】

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研究了用磁控溅射系统来制备氧化钒薄膜,通过优化工艺条件制备出可用作锂离子微电池阴极膜的非晶态五氧化二钒(α-V2O5)薄膜.并使用X射线衍射(XRD)与X射线光电子谱(XPS)来表

【作者】

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李静李志栓吴孙桃

【机构】

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厦门大学,厦门大学,厦门大学

【出处】

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功能材料

【发表日期】

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2005年8期

【关键词】

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α-V2O5 阴极膜射频磁控溅射锂离子电池 α-V2O5 cathode film RF sputtering lithium micro-batte

【基金项目】

：

Support by Ministry of Science and Technology of China，国家自然科学基金，福建省自然科学基金，科技部资助项目

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研究了用磁控溅射系统来制备氧化钒薄膜,通过优化工艺条件制备出可用作锂离子微电池阴极膜的非晶态五氧化二钒(α-V2O5)薄膜.并使用X射线衍射(XRD)与X射线光电子谱(XPS)来表征薄膜的晶向及化学组分.结果表明通过调节氧气以及氩气的流量、基片的温度和溅射功率,可以制备出高纯度的α-V2O5薄膜.而且,半电池体系V2O5/LiPF6/Li被构造用于表征在锂电池中作为阴极膜的五氧化二钒(α-V2O5)的电学性质.在此电池系统经过10个循环放电后,薄膜放电电容趋于稳定值.

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