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伴随着集成电子电路制造技术的提升,人们对于晶圆的研究逐渐深入。晶圆的特征尺寸缩小的同时将会产生很多的微小缺陷。通过晶圆的边缘检测技术能够实现对晶圆缺陷的检测。在本文中利用边缘提取技术以及模式识别技术,对晶圆的缺陷等进行有效识别,对边缘检测技术进行研究。
晶圆边缘检测技术研究
【摘 要】
：
伴随着集成电子电路制造技术的提升,人们对于晶圆的研究逐渐深入。晶圆的特征尺寸缩小的同时将会产生很多的微小缺陷。通过晶圆的边缘检测技术能够实现对晶圆缺陷的检测。在
【机 构】
：
北京自动化技术研究院
【出 处】
：
电子技术与软件工程
【发表日期】
：
2016年15期
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