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文章就超精密加工的应用领域进行了简述 ,介绍了超精密制造技术的发展状况及其发展方向 ,对影响超精密加工表面质量的因素进行了理论分析。指出超精密加工表面质量是由于多种因素影响形成的 ,提高加工表面质量的核心是降低各子集的分维数。分维数越高振动规律越复杂 ,其微细结构越复杂 ,对纳米级超精密加工表面质量影响越大