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在Ａｌ２Ｏ３陶瓷基片上以Ｍｏ（ＣＯ）为源采用低压冷壁式设备和金属有机气相沉积（ＭＯＣＶＤ）方法制备ＭＯ２Ｃ薄膜，探讨了该薄膜结构受温度、压力和沉积速度等工艺因素影响的关系。
羰基金属气相沉积工艺条件及膜结构研究
【摘 要】
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在Ａｌ２Ｏ３陶瓷基片上以Ｍｏ（ＣＯ）为源采用低压冷壁式设备和金属有机气相沉积（ＭＯＣＶＤ）方法制备ＭＯ２Ｃ薄膜，探讨了该薄膜结构受温度、压力和沉积速度等工艺因素影响的关系。
【机 构】
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西南师范大学化学化工学院
【出 处】
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西南师范大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1999年4期
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